Ultra-High Speed Anisotropic Reactive Ion Etching

WO2014092856 Art A1 19. Juni 2014

Anmelder: The Penn State Research Foundation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014092856
Aktenzeichen: EP13863289
Anmeldetag: 14. Oktober 2013
Veröffentlichung: 19. Juni 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/46C23C14/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Penn State Research Foundation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Penn State Research Foundation

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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