Optical component with blocking surface and method thereof

WO2014093355 Art A1 19. Juni 2014

Anmelder: Kla-Tencor Corporation, Sandia Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014093355
Aktenzeichen: EP13862333
Anmeldetag: 10. Dezember 2013
Veröffentlichung: 19. Juni 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/10G01N21/33H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Kla-Tencor Corporation
Sandia Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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