Device for vertical galvanic metal, preferably copper, deposition on a substrate and a container suitable for receiving such a device

WO2014095355 Art A1 26. Juni 2014

Anmelder: MKS IP Association 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014095355
Aktenzeichen: EP13799298
Anmeldetag: 3. Dezember 2013
Veröffentlichung: 26. Juni 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C25D17/00C25D17/12H01L21/768C25D17/06C25D5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS IP Association
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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