Resist composition for imprinting

WO2014097761 Art A1 26. Juni 2014

Anmelder: Daikin Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014097761
Aktenzeichen
EP13865296
Anmeldetag
6. November 2013
Veröffentlichung
26. Juni 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027B29C59/02C09K3/00B29K27/12B29K71/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Daikin Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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