Method for manufacturing sic substrate

WO2014097845 Art A1 26. Juni 2014

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014097845
Aktenzeichen: EP13865118
Anmeldetag: 28. November 2013
Veröffentlichung: 26. Juni 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065C30B29/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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