Integrated use of model-based metrology and a process model
WO2014100037
Art A1
26. Juni 2014
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014100037
- Aktenzeichen
- EP13865116
- Anmeldetag
- 17. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 26. Juni 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06F19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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