Verfahren und Vorrichtung zur Vakuumdruckmessung mit einer Messzellenanordnung

WO2014102035 Art A1 3. Juli 2014

Anmelder: Inficon GmbH 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014102035
Aktenzeichen
EP13795462
Anmeldetag
20. November 2013
Veröffentlichung
3. Juli 2014
Rechtsraum
WO
IPC
G01L9/00G01L9/12G01L13/02G01L19/00G01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Inficon GmbH
Land
🇨🇭 Schweiz
🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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