Treatment device, exhaust switching device therefor, exhaust switching unit and switching valve box

WO2014103523 Art A1 3. Juli 2014

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Kitz Sct Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014103523
Aktenzeichen: EP13866786
Anmeldetag: 7. November 2013
Veröffentlichung: 3. Juli 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Kitz Sct Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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