Charged particle beam device and method for analyzing defect therein

WO2014104191 Art A1 3. Juli 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014104191
Aktenzeichen: EP13868717
Anmeldetag: 26. Dezember 2013
Veröffentlichung: 3. Juli 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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