High productivity combinatorial techniques for titanium nitride etching

WO2014105792 Art A1 3. Juli 2014

Anmelder: Intermolecular, Inc., Globalfoundries Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014105792
Aktenzeichen: EP13868642
Anmeldetag: 23. Dezember 2013
Veröffentlichung: 3. Juli 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Intermolecular, Inc.
Globalfoundries Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇰🇾 GlobalFoundries

GlobalFoundries ist ein Halbleiterhersteller, der als Auftragsfertiger (Foundry) Chips für zahlreiche Kunden produziert; die Gesellschaft ist auf den Cayman Islands registriert. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Software. Die Anmeldungen von 2000 bis 2018 betreffen unter anderem Kontaktstrukturen und Fertigungsverfahren für Halbleiterbauelemente.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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