Charge integration based electrostatic clamp health monitor

WO2014105883 Art A1 3. Juli 2014

Anmelder: Axcelis Technologies Inc., McIntyre, Edward, Ladny, Edward, Robinson, Nathaniel, Lee, William Davis 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014105883
Aktenzeichen: EP13821611
Anmeldetag: 24. Dezember 2013
Veröffentlichung: 3. Juli 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/683H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Axcelis Technologies Inc.
McIntyre, Edward
Ladny, Edward
Robinson, Nathaniel
Lee, William Davis
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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