Inlet nozzle and detoxification device

WO2014109152 Art A1 17. Juli 2014

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014109152
Aktenzeichen
EP13870594
Anmeldetag
6. Dezember 2013
Veröffentlichung
17. Juli 2014
Rechtsraum
WO
IPC
F23D14/00F23G7/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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