Inspection device and adjusting method

WO2014109205 Art A1 17. Juli 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014109205
Aktenzeichen
EP13871249
Anmeldetag
19. Dezember 2013
Veröffentlichung
17. Juli 2014
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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