Method of lithographically transferring a pattern on a light sensitive surface and illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus

WO2014111098 Art A1 24. Juli 2014

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014111098
Aktenzeichen: EP13700976
Anmeldetag: 17. Januar 2013
Veröffentlichung: 24. Juli 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B27/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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