Method for evaluating oxide semiconductor thin film, and method for quality control of oxide semiconductor thin film

WO2014112153 Art A1 24. Juli 2014

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014112153
Aktenzeichen: EP13871747
Anmeldetag: 4. September 2013
Veröffentlichung: 24. Juli 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/62G01N21/63H01L21/336H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.)
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von