Method for manufacturing electronic device
WO2014112402
Art A1
24. Juli 2014
Anmelder: V Technology Co., Ltd., National University Corporation Yamagata University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014112402
- Aktenzeichen
- EP14740318
- Anmeldetag
- 7. Januar 2014
- Veröffentlichung
- 24. Juli 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/28C23C16/48H01L21/285H01L21/288
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- V Technology Co., Ltd.
National University Corporation Yamagata University - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
V Technology
V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.
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