Method for manufacturing electronic device

WO2014112402 Art A1 24. Juli 2014

Anmelder: V Technology Co., Ltd., National University Corporation Yamagata University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014112402
Aktenzeichen
EP14740318
Anmeldetag
7. Januar 2014
Veröffentlichung
24. Juli 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/28C23C16/48H01L21/285H01L21/288
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
V Technology Co., Ltd.
National University Corporation Yamagata University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

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