Alignment device and alignment method
WO2014112512
Art A1
24. Juli 2014
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014112512
- Aktenzeichen
- EP14740957
- Anmeldetag
- 15. Januar 2014
- Veröffentlichung
- 24. Juli 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.