Substrate processing device anomaly determination method, anomaly determination device, and substrate processing system and recording medium

WO2014115643 Art A1 31. Juli 2014

Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014115643
Aktenzeichen: EP14743192
Anmeldetag: 17. Januar 2014
Veröffentlichung: 31. Juli 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G05B23/02G05B19/418H01L21/02H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Kokusai Electric Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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