Skew Elimination And Control in A Plasma Enhanced Substrate Processing Chamber

WO2014116488 Art A1 31. Juli 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014116488
Aktenzeichen: EP14742806
Anmeldetag: 16. Januar 2014
Veröffentlichung: 31. Juli 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/24H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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