Methods of attaching a module on wafer substrate

WO2014116925 Art A1 31. Juli 2014

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014116925
Aktenzeichen
EP14743097
Anmeldetag
24. Januar 2014
Veröffentlichung
31. Juli 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L23/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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