Manganese-containing compounds, their synthesis, and use in manganese-containing film deposition

WO2014118750 Art A1 7. August 2014

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014118750
Aktenzeichen: EP14746508
Anmeldetag: 31. Januar 2014
Veröffentlichung: 7. August 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C07F19/00C07F7/08C07F13/00C23C16/18H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von