Gas nozzle and plasma device employing same
WO2014119177
Art A1
7. August 2014
Anmelder: Kyocera Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014119177
- Aktenzeichen
- EP13873204
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 7. August 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/31B05B1/00C23C16/44C23C16/455H01L21/3065H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kyocera Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kyocera
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.
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