Composite charged particle beam detector, charged particle beam device, and charged particle beam detector

WO2014119350 Art A1 7. August 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014119350
Aktenzeichen: EP14746311
Anmeldetag: 10. Januar 2014
Veröffentlichung: 7. August 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/28H01J37/22H01J37/24H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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