Sample holder and plasma etching apparatus using same

WO2014119637 Art A1 7. August 2014

Anmelder: Kyocera Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014119637
Aktenzeichen: EP14745908
Anmeldetag: 30. Januar 2014
Veröffentlichung: 7. August 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683C04B41/88

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kyocera Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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