Mems device manufacturing method
WO2014119810
Art A1
7. August 2014
Anmelder: Korea Advanced Institute Of Science And Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014119810
- Aktenzeichen
- EP13873747
- Anmeldetag
- 1. Februar 2013
- Veröffentlichung
- 7. August 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B81B1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Korea Advanced Institute Of Science And Technology
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
KAIST
Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.
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