Light-sensitive resin composition and pattern forming method using same
WO2014119849
Art A1
7. August 2014
Anmelder: Dongjin Semichem Co., Ltd. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014119849
- Aktenzeichen
- EP13873490
- Anmeldetag
- 26. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 7. August 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/004G03F7/028G03F7/26H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Dongjin Semichem Co., Ltd.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Dongjin Semichem
Der Anmelder ist ein südkoreanischer Hersteller von Chemikalien für die Halbleiter- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Klebstoffe, Optik und Kunststofftechnik, insbesondere Fotoresists und Materialien für Dünnschichtprozesse. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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