Cleaning method

WO2014123028 Art A1 14. August 2014

Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014123028
Aktenzeichen: EP14749387
Anmeldetag: 28. Januar 2014
Veröffentlichung: 14. August 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/44H01L21/31H01L21/316H01L21/318

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Kokusai Electric Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

21.149 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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