Cleaning gas and cleaning method

WO2014125893 Art A1 21. August 2014

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014125893
Aktenzeichen
EP14751533
Anmeldetag
24. Januar 2014
Veröffentlichung
21. August 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Central Glass Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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