Surface-processing method for monocrystalline sic substrates, manufacturing method therefor, and grinding plate for surface-processing of monocrystalline sic substrates

WO2014126174 Art A1 21. August 2014

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014126174
Aktenzeichen: EP14751557
Anmeldetag: 13. Februar 2014
Veröffentlichung: 21. August 2014
Rechtsraum: WO
IPC: B24B1/00B24D3/00C30B29/36C30B33/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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