Feedstock supply source for growing zno-containing film, zno-containing-film manufacturing device and manufacturing method, and light-emitting element containing zno-containing film

WO2014126203 Art A1 21. August 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Tokyo University of Agriculture and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014126203
Aktenzeichen: EP14751610
Anmeldetag: 14. Februar 2014
Veröffentlichung: 21. August 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/365C23C16/448H01L33/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Tokyo University of Agriculture and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von