System and method for producing an exclusionary buffer gas flow in an euv light source
WO2014127151
Art A1
21. August 2014
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014127151
- Aktenzeichen
- EP14752104
- Anmeldetag
- 13. Februar 2014
- Veröffentlichung
- 21. August 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G21G4/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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