Gas Flow Optimization in Reticle Stage Environment

WO2014128232 Art A1 28. August 2014

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014128232
Aktenzeichen: EP14705535
Anmeldetag: 20. Februar 2014
Veröffentlichung: 28. August 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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