Device for treating perfluoro compounds and method for treating perfluoro compounds

WO2014129051 Art A1 28. August 2014

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014129051
Aktenzeichen: EP13875877
Anmeldetag: 11. Dezember 2013
Veröffentlichung: 28. August 2014
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/86B01D53/68H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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