Method for manufacturing silicon monocrystal rod

WO2014129123 Art A1 28. August 2014

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014129123
Aktenzeichen
EP14754741
Anmeldetag
31. Januar 2014
Veröffentlichung
28. August 2014
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06H01L21/322H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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