Fept-c-based sputtering target and method for manufacturing same

WO2014132746 Art A1 4. September 2014

Anmelder: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014132746
Aktenzeichen
EP14757448
Anmeldetag
31. Januar 2014
Veröffentlichung
4. September 2014
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34B22F3/00B22F3/14C22C1/10C22C5/04C22C32/00C22C33/02C22C38/00G11B5/64G11B5/851
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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