Orbitron pump and electron beam device using orbitron pump

WO2014132758 Art A1 4. September 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014132758
Aktenzeichen: EP14757552
Anmeldetag: 5. Februar 2014
Veröffentlichung: 4. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/18F04B37/02H01J41/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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