Semiconductor substrate cleaning system and method for cleaning semiconductor substrate
WO2014133137
Art A1
4. September 2014
Anmelder: Kurita Water Industries Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014133137
- Aktenzeichen
- EP14756546
- Anmeldetag
- 28. Februar 2014
- Veröffentlichung
- 4. September 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kurita Water Industries Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kurita Water Industries
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.
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