Electron beam generating apparatus, electron beam irradiation apparatus, electron beam exposure apparatus, and manufacturing method

WO2014136154 Art A1 12. September 2014

Anmelder: Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014136154
Aktenzeichen: EP13877121
Anmeldetag: 26. September 2013
Veröffentlichung: 12. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/073G03F7/20H01J37/305H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tohoku University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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