Fluid control device and structure for installing thermal sensor at fluid control device

WO2014136557 Art A1 12. September 2014

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014136557
Aktenzeichen: EP14759846
Anmeldetag: 17. Februar 2014
Veröffentlichung: 12. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: F16K27/00G05D7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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