Process for forming semiconductor thin film

WO2014136614 Art A1 12. September 2014

Anmelder: National University Corporation Nagoya University, Kyushu University National University Corporation, Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014136614
Aktenzeichen: EP14760262
Anmeldetag: 25. Februar 2014
Veröffentlichung: 12. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20H01L21/268

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: National University Corporation Nagoya University
Kyushu University National University Corporation
Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National University Corporation Nagoya University

Japanische staatliche Universität mit umfangreicher Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin, unter anderem bekannt für Arbeiten zu LED-Technologie. Trägerin zahlreicher Patente aus Universitätsforschung in Japan.

702 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

1.331 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von