Radiation source that jets up liquid fuel to form plasma for generating radiation and recycle liquid fuel

WO2014139713 Art A1 18. September 2014

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014139713
Aktenzeichen: EP14701721
Anmeldetag: 24. Januar 2014
Veröffentlichung: 18. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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