Anordnung zur Betätigung mindestens eines Elements in einem Optischen System

WO2014139787 Art A1 18. September 2014

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014139787
Aktenzeichen: EP14710828
Anmeldetag: 24. Februar 2014
Veröffentlichung: 18. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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