Illumination optical unit for a mask inspection system and mask inspection system with such an illumination optical unit

WO2014139807 Art A1 18. September 2014

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014139807
Aktenzeichen: EP14709216
Anmeldetag: 28. Februar 2014
Veröffentlichung: 18. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G21K7/00G03F1/84G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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