Bis(alkylimido)-bis(alkylamido)molybdenum molecules for deposition of molybdenum-containing films

WO2014140672 Art A1 18. September 2014

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Gatineau, Julien, Ko, Changhee, Yokota, Jiro, Lansalot-Matras, Clément 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014140672
Aktenzeichen: EP13878232
Anmeldetag: 15. März 2013
Veröffentlichung: 18. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205H01L21/318

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Gatineau, Julien
Ko, Changhee
Yokota, Jiro
Lansalot-Matras, Clément
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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