Pulse Synchronization By Monitoring Power in Another Frequency Band

WO2014143215 Art A1 18. September 2014

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014143215
Aktenzeichen
EP13877901
Anmeldetag
21. November 2013
Veröffentlichung
18. September 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H05H1/36H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MKS Instruments, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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