Methods of measuring overlay errors in area-imaging e-beam lithography

WO2014143312 Art A2 18. September 2014

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014143312
Aktenzeichen: EP13878090
Anmeldetag: 19. Dezember 2013
Veröffentlichung: 18. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G06F17/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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