Laser emission-based control of beam positioner

WO2014145305 Art A1 18. September 2014

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014145305
Aktenzeichen: EP14763401
Anmeldetag: 15. März 2014
Veröffentlichung: 18. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: B23K26/082B23K26/062B23K26/073B23K26/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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