Optical acoustic substrate assessment system and method

WO2014149213 Art A1 25. September 2014

Anmelder: RUDOLPH TECHNOLOGIES, INC., The Regents of the University of Colorado 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014149213
Aktenzeichen: EP14767718
Anmeldetag: 5. Februar 2014
Veröffentlichung: 25. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: RUDOLPH TECHNOLOGIES, INC.
The Regents of the University of Colorado
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Colorado

The Regents of the University of Colorado ist die Trägerkörperschaft der US-amerikanischen University of Colorado und verwaltet deren Patentrechte. Das Portfolio konzentriert sich auf Medizintechnik/Gesundheit sowie Pharma/Biotechnologie und organische Chemie, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Die Titel betreffen unter anderem Ätzverfahren für siliziumhaltige Materialien und Behandlungen von Reperfusionsschäden nach Herzinfarkt.

281 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von