Polishing pad cleaning with vacuum apparatus

WO2014149676 Art A1 25. September 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014149676
Aktenzeichen: EP14769389
Anmeldetag: 4. März 2014
Veröffentlichung: 25. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: B24B53/017B24B37/04B24B55/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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