Multi-spot defect inspection system
WO2014151802
Art A1
25. September 2014
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014151802
- Aktenzeichen
- EP14768878
- Anmeldetag
- 13. März 2014
- Veröffentlichung
- 25. September 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/01G01N21/17G01N21/47G01N21/63G01N1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.